TH-135-7P -135℃水汽捕集泵

2021-08-24 17:36:44 234

產(chǎn)品摘要

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-135℃水汽捕集泵，超低溫捕集泵，深冷泵，快速循環(huán)水汽冷凍機(jī)POLYCOLD -135℃Water vapor cryopump 應(yīng)用原理: 在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上+選擇。深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量，達(dá)到10^-8Torr、10^-5Pa)。

型號(hào)	TH-135-3P	TH-135-5P	TH-135-7P	TH-135-10P	TH-135-12P	TH-135-15P
壓縮機(jī)功率(KW)	2.8	4.6	6.3	8.5	10.1	12.3
工作溫度（℃）	-99℃至-140℃
抽氣速度（l/s）	30600	5990	73000	10990	153000	250000
制冷量（W）	300	500	1200	1	2500	3500
冷凝管表面積(m²)	0.15	0.3	0.5	0.7	1.0	2. 0
冷凝管長(zhǎng)度	8m,φ6mm	10m,φ10mm	12m,φ12mm	14m,φ16mm	24m,φ16mm	40m,φ16mm
預(yù)冷時(shí)間（min）	≤30	≤30	≤30	≤30	≤40	≤40
降溫時(shí)間（min）	≤5	≤5	≤5	≤5	≤6	≤7
除霜時(shí)間(min)	≤3	≤3	≤3	≤3	≤3	≤3
再降溫時(shí)間(min)	≤5	≤5	≤5	≤5	≤6	≤6
適用油擴(kuò)散泵徑（mm）	≤300	≤500	≤	≤990	雙路輸出	雙路輸出
冷卻方式	風(fēng)冷、水冷(t≤30℃)		水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)
適用腔體直徑（mm）	≤900		≤1300	≤1500	≤1700	≤2000