指標(biāo) |
薄膜測試 |
容器測試(另購) |
測試范圍 |
0.01~990 cm3/m2·d(常規(guī))
0.1~10,000 cm3/m2·d(可選) |
0.0001~10 cm3/pkg·d(常規(guī)) |
試樣數(shù)量 |
1~3 件 |
分辨率 |
0.01 cm3/m2·d |
0.0001 cm3/pkg·d |
控溫范圍 |
15℃~55℃(另購) |
/ |
控溫精度 |
±0.1℃ |
/ |
控濕范圍 |
0%RH、15%RH~90%RH、RH(另購) |
控濕精度 |
±1%RH |
試驗(yàn)氣體 |
O2、空氣等(氣源用戶自備) |
測試面積 |
50 cm2 |
/ |
試樣厚度 |
≤3 mm (其他厚度要求可定做) |
/ |
試樣尺寸 |
108 mm x 108 mm |
O2測試:小于Ф120 mm,高度小于360 mm
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開放測試(空氣):尺寸不限
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瓶:瓶口內(nèi)徑>Ф8 mm
瓶口外徑<Ф42 mm(常規(guī))
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袋,盒:附件支持
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載氣 |
99.999%高純氮?dú)猓庠从脩糇詡洌?/td>
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氣源壓力 |
≥0.28 MPa |
接口尺寸 |
1/8英寸金屬管 |
外形尺寸 |
670 mm (L) × 410 mm (W) × 310 mm (H) |
670 mm (L) × 410 mm (W) × 630 mm (H) |
電源 |
AC (85~264)V (47~63)Hz |
凈重 |
48 kg |
50 kg |